Please use this identifier to cite or link to this item: https://repository.uksw.edu//handle/123456789/4571
Title: Proses Etsa Anisotropik Silikon (Si) Dalam Larutan Tetrametil Amonium Hidroksida, Isopropil Alkohol, Pyrazine dan Karakterisasinya
Authors: Widodo, Slamet
Sudrajad, Nanang
Keywords: etsa anisotropik;larutan pyrazine;laju etsa;kerataan;undercutting
Issue Date: Jun-2014
Publisher: Fakultas Sains dan Matematika Universitas Kristen Satya Wacana
Abstract: Makalah ini menjelaskan karakteristik etsa anisotropik dari kristal tunggal Si dalam larutan tetrametil amonium hidroksida (TMAH) : isopropil alkohol (IPA) : pyrazine. Dengan penambahan IPA untuk larutan TMAH, ada perbaikan dalam kerataan di bagian depan etsa dan pengurangan undercutting diamati, tetapi laju etsa pada Si (100) menurun. Pada Si (100) tingkat esa ditingkatkan dengan penambahan larutan pyrazine . Laju etsa :0,8 µm / menit pada Si (100), lebih cepat sebesar 13% dari laju etsa untuk larutan 20% berat TMAH. Larutan pyrazine 0,005-g/mL, laju etsa pada Si (100) menurun ketika pyrazine ditambahkan ke larutan. Dengan penambahan pyrazine ke 25% berat larutan TMAH, tidak ada variasi yang signifikan dalam kerataan di bagian d epan etsa, dan ratio undercutting berkurang 30 ~ 50 %. Hasil ini menunjukkan bahwa etsa anisotropik dari Si (100) menggunakan TMAH : IPA : larutan pyrazine menjadikan metode yang powerful untuk mewujudkan pembuatan devais mikro elektro-mekanis sistem (MEMS) yang terintegrasi
Description: Prosiding Seminar Nasional Sains dan Pendidikan Sains IX, Fakultas Sains dan Matematika UKSW Salatiga, 21 Juni 2014, Vol 5, No.1, p. 565-570
URI: http://repository.uksw.edu/handle/123456789/4571
ISSN: 2087-0922
Appears in Collections:Bidang Kimia dan Pendidikan Kimia

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
PROS_S Widodo, N Sudrajad_Proses Etsa Anisotropik_fulltext.pdfFull text248.64 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.